Hvad er orienteringen af siliciumwafers?
Mar 14, 2024
I halvlederfremstilling bruger siliciumwafers ofte 100 krystal orienteringen, fordi 100 krystal orienteringen har følgende fordele og anvendelighed:
1. Grundlæggende krystalstruktur: Krystalstrukturen af silicium er ansigtscentreret kubisk (FCC), hvor (100) krystalorienteringen er det tættest pakkede krystalplan. Dette betyder, at siliciumskiver med (100) krystalorientering har højere fladhed i gitterstrukturen og konsistensen af gitterparametrene, hvilket gør dem mere egnede til brug som substratmaterialer til halvlederenheder.
2. Fordele ved fremstillingsprocessen: (100) Siliciumskiver med krystalorientering har fordele i fremstillingsprocesser. På grund af dens høje overfladeplanhed kan ætsning, afsætning og andre forarbejdningsprocesser udføres lettere. Derudover er (100) orienterede siliciumskiver også lettere at bearbejde fysisk og kemisk, hvilket gør dem velegnede til fremstilling af integrerede kredsløb og andre halvlederenheder.
3. Konsistens af krystalorientering: Brug af siliciumwafers med (100) krystalorientering kan gøre waflerne mere konsistente og gentagelige under fremstillingsprocessen. Dette er meget vigtigt for at sikre enhedens ydelseskonsistens og kontrollerbarheden af fremstillingsprocessen.
4. Substrat bekvemmelighed: (100) orienteret silicium wafer har god matchning og kompatibilitet som et substratmateriale. Det kan matches med mange almindeligt anvendte halvledermaterialer og stablede strukturer, hvilket gør det mere velegnet til at forberede forskellige typer halvlederenheder.


